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FP-260AGZS

präzises Bandmessgerät

 

Aktuelles Datenblatt


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FP-260AGZS

Das  neue FP-260AGZS ist die konsequente Weiterentwicklung unserer Reihe der Tape Monitore. Das Messprinzip der trockenen Kolorimetrie  ermöglicht es nun neben den bekannten Gasen  C5F8 und C4F6  auch C3F6 zuverlässig zu messen.
Als Messmedium findet die bekannte Bandkassette (Ähnlich einer VHS-Videokassette) Anwendung.


Auf dieses Band wird das Messgas aufgebracht und eine Verfärbung als Messwert ausgewertet. Bedingt durch die optimale Abstimmung des Reagenzbandes auf die Messkomponenten weist diese Meßmethode praktisch keine Querem-pfindlichkeiten zu anderen Gasen auf und selbst kleinste Konzentrationen können zuverlässig gemessen werden.  


 

Das Band (Tape) hat bei gasfreien Probenahmen eine Einsatzdauer von einem Monat und kann vom Anwender ganz einfach gewechselt werden.

Selbstverständlich verfügt ein Gerät dieser Klasse über ein integriertes Probenahmesystem!

 

Features:

  • Integrierter spezieller Pyrolyzer
  • Für Applikationen der Halbleiterindustrie
  • Messung geringster Gaskonzentrationen, höchst präzise
  • Minimale Querempfindlichkeit gegen Lösemittel
  • Einfach auszutauschendes Kassettensystem
  • Status des Kassettenbandes jederzeit ablesbar

 

 

Ideal für Messung geringster Gasmengen


Trockene Kolorimetrie

Das Messprinzip beruht darauf, dass ein Lichtstrahl mit einer bestimmten Wellenlänge und einer bestimmten Intensität auf eine Probe geleitet wird. Je nach Stoff wird Licht bestimmter Wellenlängen absorbiert, wobei die Stärke der Absorption von der Konzentration abhängig ist.

Im Fall des FP-260 AGZS wird das Gas zuvor über den eingebauten Pyrolyzer aufgespalten, um die präzise Messung überhaupt zu ermöglichen (patentiert).
Auf dem Band ist ein Reagenz aufgebracht, dass nun in Reaktion mit dem Messgas eine spezifische Verfärbung aufzeichnet. Die Intensität dieser Verfärbung ist direkt proportional zur Konzentration des Gases und wird in einem speziellen optischen System vermessen, indem das reflektierte Licht der Lichtquelle auf eine Photozelle gelenkt wird.
Das erhaltene Signal wird digitalisiert, mit einer vorprogrammierten Kalibrierkurve verglichen und die Konzentration vom Gerät ausgegeben.

Selbst kleinste Konzentrationen im ppb-Bereich können so gemessen werden.

 

 

 

Messkomponente / Formel

Bereich

Auflösung

Warnung

Alarm

Mess-
zyklus

Kassettentyp

Octafluorcyclopentan (C5F8) in Luft

0~5,0 ppm

0,1 ppm

2,0 ppm

4,0 ppm

20 Sek.

FV-017

Perfluorbutadien (C4F6) in Luft

0~5,0 ppm

0,1 ppm

2,0 ppm

4,0 ppm

20 Sek.

FV-017

Hexafluorpropylen (C3F6) in Luft

0~3,0 ppm

0,1 ppm

0,9 ppm

2,0 ppm

20 Sek.

FV-017

 

Modell

FP-260AGZS

Typ

tragbar

Messprinzip

Spezialpyrolizer + trockene Kolorimetrie

Kassette

VHS-ähnliche Einschubkassette, für einfachen und schnellen Austausch

Messkomponente und -bereich

Messkomponente / Formel

Bereich

Auflösung

Warnung

Alarm

Mess-
zyklus

Kassetten-typ

Octafluorcyclopentan (C5F8) in Luft

0~5,0 ppm

0,1 ppm

2,0 ppm

4,0 ppm

20 Sek.

FV-017

Perfluorbutadien (C4F6) in Luft

0~5,0 ppm

0,1 ppm

2,0 ppm

4,0 ppm

20 Sek.

FV-017

Hexafluorpropylen (C3F6) in Luft

0~3,0 ppm

0,1 ppm

0,9 ppm

2,0 ppm

20 Sek.

FV-017

Betriebszeit der Kassette

1 Monat (gasfrei), Sichtfenster sorgt für Restanzeige der Kassette

Probenahme

Automatische Probenahme (1l/min) durch interne Pumpe

Anlaufzeit

ca. 20 Minuten

Anzeige

Direkte Anzeige der Gaskonzentration auf dem Display

Alarmvoreinstellungen

C5F8 Warnung: 2,0 ppm, Alarm: 4,0 ppm

C4F6 Warnung: 2,0 ppm, Alarm: 4,0 ppm

C3F6 Warnung: 0,9 ppm, Alarm: 2,0 ppm

Alarmgenauigkeit

besser als ±30% + 1 Stelle des Alarmwertes bei konstanten Bedingungen

Alarmanzeige

Warnung: Blinkendes gelbes Licht (durchgängiges Leuchten nach Reset)

Alarm: Blinkendes rotes Licht (durchgängiges Leuchten nach Reset)

Relaiskontakte

haltend (Standard) oder nicht haltend (optional).
0,5A bei 125VAC.

Selbstdiagnose

Sensorfehler, Durchflussfehler, Bandriss, Austausch der Kassette, Band zu Ende, Bandfehler,Band falsch eingelegt, Systemfehler, Antriebsfehler.
Ausgang: Form C, Trockenkontakte. Ausgeklinkter Modus, 0,5A bei 125VAC.

Ausgangssignal &
Anschlüsse

  • 4-20 mA DC (0-1VDC optional)
  • BL-NET (optional)

Arbeitstemperatur und Luftfeuchte

Ca. 10~35°C, 30~60%RF (nicht kondensierend)

Gaseinlaß

Äußerer Durchmesser: 6mm Ø, mit Anschluss für PTFE Verschlauchung

Stromversorgung

100VAC, 110VAC, 115VAC, 230VAC, (80VA)

Abmessungen und Gewicht

ca. 275 x 220 x 370 mm, 12kg

Standard Zubehör

Kassette für Gasmessung, Staubfilter, Sicherung (3A)

Technische Änderungen vorbehalten.