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Das neue FP-260AGZS ist die konsequente Weiterentwicklung unserer Reihe der Tape Monitore. Das Messprinzip der trockenen Kolorimetrie ermöglicht es nun neben den bekannten Gasen C5F8 und C4F6 auch C3F6 zuverlässig zu messen.
Als Messmedium findet die bekannte Bandkassette (Ähnlich einer VHS-Videokassette) Anwendung.
Auf dieses Band wird das Messgas aufgebracht und eine Verfärbung als Messwert ausgewertet. Bedingt durch die optimale Abstimmung des Reagenzbandes auf die Messkomponenten weist diese Meßmethode praktisch keine Querem-pfindlichkeiten zu anderen Gasen auf und selbst kleinste Konzentrationen können zuverlässig gemessen werden.
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Das Band (Tape) hat bei gasfreien Probenahmen eine Einsatzdauer von einem Monat und kann vom Anwender ganz einfach gewechselt werden.
Selbstverständlich verfügt ein Gerät dieser Klasse über ein integriertes Probenahmesystem!
Features:
- Integrierter spezieller Pyrolyzer
- Für Applikationen der Halbleiterindustrie
- Messung geringster Gaskonzentrationen, höchst präzise
- Minimale Querempfindlichkeit gegen Lösemittel
- Einfach auszutauschendes Kassettensystem
- Status des Kassettenbandes jederzeit ablesbar
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Ideal für Messung geringster Gasmengen
Trockene Kolorimetrie
Das Messprinzip beruht darauf, dass ein Lichtstrahl mit einer bestimmten Wellenlänge und einer bestimmten Intensität auf eine Probe geleitet wird. Je nach Stoff wird Licht bestimmter Wellenlängen absorbiert, wobei die Stärke der Absorption von der Konzentration abhängig ist.
Im Fall des FP-260 AGZS wird das Gas zuvor über den eingebauten Pyrolyzer aufgespalten, um die präzise Messung überhaupt zu ermöglichen (patentiert).
Auf dem Band ist ein Reagenz aufgebracht, dass nun in Reaktion mit dem Messgas eine spezifische Verfärbung aufzeichnet. Die Intensität dieser Verfärbung ist direkt proportional zur Konzentration des Gases und wird in einem speziellen optischen System vermessen, indem das reflektierte Licht der Lichtquelle auf eine Photozelle gelenkt wird.
Das erhaltene Signal wird digitalisiert, mit einer vorprogrammierten Kalibrierkurve verglichen und die Konzentration vom Gerät ausgegeben.
Selbst kleinste Konzentrationen im ppb-Bereich können so gemessen werden.
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Messkomponente / Formel
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Bereich
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Auflösung
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Warnung
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Alarm
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Mess-
zyklus
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Kassettentyp
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Octafluorcyclopentan (C5F8) in Luft
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0~5,0 ppm
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0,1 ppm
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2,0 ppm
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4,0 ppm
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20 Sek.
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FV-017
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Perfluorbutadien (C4F6) in Luft
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0~5,0 ppm
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0,1 ppm
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2,0 ppm
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4,0 ppm
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20 Sek.
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FV-017
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Hexafluorpropylen (C3F6) in Luft
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0~3,0 ppm
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0,1 ppm
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0,9 ppm
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2,0 ppm
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20 Sek.
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FV-017
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Modell
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FP-260AGZS
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Typ
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tragbar
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Messprinzip
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Spezialpyrolizer + trockene Kolorimetrie
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Kassette
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VHS-ähnliche Einschubkassette, für einfachen und schnellen Austausch
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Messkomponente und -bereich
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Messkomponente / Formel
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Bereich
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Auflösung
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Warnung
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Alarm
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Mess-
zyklus
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Kassetten-typ
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Octafluorcyclopentan (C5F8) in Luft
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0~5,0 ppm
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0,1 ppm
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2,0 ppm
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4,0 ppm
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20 Sek.
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FV-017
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Perfluorbutadien (C4F6) in Luft
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0~5,0 ppm
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0,1 ppm
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2,0 ppm
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4,0 ppm
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20 Sek.
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FV-017
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Hexafluorpropylen (C3F6) in Luft
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0~3,0 ppm
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0,1 ppm
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0,9 ppm
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2,0 ppm
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20 Sek.
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FV-017
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Betriebszeit der Kassette
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1 Monat (gasfrei), Sichtfenster sorgt für Restanzeige der Kassette
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Probenahme
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Automatische Probenahme (1l/min) durch interne Pumpe
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Anlaufzeit
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ca. 20 Minuten
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Anzeige
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Direkte Anzeige der Gaskonzentration auf dem Display
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Alarmvoreinstellungen
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C5F8 Warnung: 2,0 ppm, Alarm: 4,0 ppm
C4F6 Warnung: 2,0 ppm, Alarm: 4,0 ppm
C3F6 Warnung: 0,9 ppm, Alarm: 2,0 ppm
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Alarmgenauigkeit
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besser als ±30% + 1 Stelle des Alarmwertes bei konstanten Bedingungen
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Alarmanzeige
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Warnung: Blinkendes gelbes Licht (durchgängiges Leuchten nach Reset)
Alarm: Blinkendes rotes Licht (durchgängiges Leuchten nach Reset)
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Relaiskontakte
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haltend (Standard) oder nicht haltend (optional).
0,5A bei 125VAC.
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Selbstdiagnose
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Sensorfehler, Durchflussfehler, Bandriss, Austausch der Kassette, Band zu Ende, Bandfehler,Band falsch eingelegt, Systemfehler, Antriebsfehler.
Ausgang: Form C, Trockenkontakte. Ausgeklinkter Modus, 0,5A bei 125VAC.
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Ausgangssignal &
Anschlüsse
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- 4-20 mA DC (0-1VDC optional)
- BL-NET (optional)
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Arbeitstemperatur und Luftfeuchte
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Ca. 10~35°C, 30~60%RF (nicht kondensierend)
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Gaseinlaß
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Äußerer Durchmesser: 6mm Ø, mit Anschluss für PTFE Verschlauchung
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Stromversorgung
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100VAC, 110VAC, 115VAC, 230VAC, (80VA)
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Abmessungen und Gewicht
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ca. 275 x 220 x 370 mm, 12kg
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Standard Zubehör
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Kassette für Gasmessung, Staubfilter, Sicherung (3A)
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Technische Änderungen vorbehalten.
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